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碳氢清洗剂的生产成本高，但清洗效果要比煤油好。另外，利用真空蒸馏回收设备，可以对碳氢清洗剂进行蒸馏回收二次使用，可以大大降低碳氢清洗剂的使用成本。再考虑到对人体的性，碳氢清洗剂显然比煤油有优势。
碳氢清洗剂可分为正构经、异构经、环烷经和芳香经等。其特点为:
1、对金属加工油的清洗力强→由于表面张力小，细缝、细孔部的清洗效果好。
2、对液晶污物，尤其是联苯系污物的相溶性好。
3、近期已有了各种污物（水溶性加工油）具有清洗作用的清洗剂。
4、不腐蚀金属。
5、对树脂的影响小→正构经、异构烂、环烷烂。
6、大多数碳氢系清洗剂经过蒸馏可以再循环利用，使用经济。
在真空状态下，溶液的沸点降低，蒸发速度加快；同时，由于形成真空，附着在物体上的溶剂也随之一起挥发。替代ODS，该技术可覆盖氟利昂、三氯乙烷等传统清洗设备。该清洗剂对塑料材料无溶胀性，可用于精密电机/塑料制品的脱脂清洗，是带有盲孔、狭缝或易重叠零件的设备、冲压件等。是目前替代ODS的理想清洗设备。真空碳氢清洗机是利用超声波穿透力强的机械冲击力冲击工件表面，结合碳氢清洗剂的化学去污作用，在真空状态下清洗工件表面、盲孔和缝隙。
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烃清洗剂淘汰的趋势烃是烃分子中的一部分或氢原子被卤素原子（氟、氯、溴、碘）取代而生成的化合物。在工业清洗领域使用多的卤代烃清洗剂有氯代烃和氟氯烃两类，包括二氯甲烷、三氯甲烷（氯仿）、1.1.1-三氯乙烷、三氯乙烯、四氯乙烯、四氯化碳、三氟三氯乙烷（F-113）等。烃清洗剂因其具有清洗能力强、不燃烧、干燥快、易蒸馏再生的优点被广泛使用，据统计2000年中国用于工业清洗的卤代烃清洗剂已经为2万吨以上。
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烃清洗剂中毒性较大的四氯化碳、三氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯早已引起人们的高度重视，使用量已大大减少。但F-113和1.1.1-三氯乙烷仍被作为“好的清洗剂”被大量使用。由于世界对F-113等烃清洗剂的严格限制，各种替代技术应运而生。主要有:水洗和半水洗:成本，但存在清洗力差、工艺复杂、生锈、水渍残留、排放污染等缺陷，推广使用受到限制。氢氟氯化碳（HCFC-225，HCFC-141b）:其特性与氟氯烃相似，臭氧破坏系数大大降低（不是没有），但有毒，对塑胶材料不。此类溶剂虽然在中国正被推广，但世界其它国家将于2002年12月31日以后停止制造和使用。
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